使用激光干涉儀，提高數(shù)控機(jī)床定位精度！

激光干涉儀laser interferometer，以光波為載體，據(jù)此為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。

激光干涉儀可以測量出一些誤差值，導(dǎo)入數(shù)控系統(tǒng)，改善機(jī)床加工精度。

發(fā)展歷史：

1960年世界上第一臺紅寶石激光器被研制出來，從此開始了光學(xué)技術(shù)飛速發(fā)展的新時(shí)代。激光干涉測量被廣泛用于長度、角度等領(lǐng)域，和微電子技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)集成，成為現(xiàn)代干涉儀。

1986年干涉儀開始向納米、亞納米分辨率和精度前進(jìn)。

激光干涉儀是激光在計(jì)量領(lǐng)域中最成功的的應(yīng)用之一。主要分為單頻和雙頻兩種。配合折射鏡、反射鏡等來作線性位置等的測量工作，可測量的量包括：位置、速度、角度等，并且可以精密測量。利用光的干涉實(shí)現(xiàn)測量，能夠應(yīng)用于眾多的領(lǐng)域。

工作原理

激光器向線性干涉鏡發(fā)射單一頻率光束，然后分成兩道光束，一道光束為參考光束射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束為測量光束通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個(gè)探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時(shí)，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。

若光程差有變化時(shí)，探測器會在每一次光程變化時(shí)，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化。

可做以下用途：

一：直線度測量

1.沿水平軸直線度測量，激光器發(fā)射出的光束穿過中間的直線度干涉鏡，分為兩束同頻的光源，通過直線度反射鏡反射匯聚到干涉鏡，再返回激光器。此種測量方法，可以檢測出干涉的光波在直線度干涉鏡移動(dòng)的方向上產(chǎn)生多少偏差，可以用來調(diào)試設(shè)備。

2.沿垂直軸直線度測量，將激光干涉儀水平光束轉(zhuǎn)換成垂直光束。

二、線性測量

可以定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙等多項(xiàng)檢測機(jī)床軸的精度指標(biāo)。

需要用到一個(gè)各線性分光鏡和兩個(gè)線性反射鏡。

激光干涉儀是精度最高的線性位移測量儀器，其光波可以直接對米進(jìn)行定義，可溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。

我們一般出廠前的新機(jī)床大多使用激光干涉儀進(jìn)行定位精度和重復(fù)定位精度以及反向間隙的檢測，機(jī)床使用一段時(shí)間后，由于絲杠的磨損和其它原因，精度會逐漸喪失，也需要使用激光干涉儀進(jìn)行精度的再校準(zhǔn)。

目前激光干涉儀市場上雷尼紹占比80%，光動(dòng)占比20%，國產(chǎn)目前還沒有哪家能與其相匹敵。

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